2024年2月18日  SiC 磨抛设备分为粗磨和细磨设备，粗磨方面国产设备基本可以满足加工需求，但是细磨方面主要采购国外公司的设备,这些企业采用设备与工艺打包销售的方式,极

2024年2月18日  衬底设备：长晶炉高度国产化，切磨抛设备仍以进口为主 碳化硅的产业链分为上游衬底/外延环节、中游器件环节以及下游的应用端。 就生产流程而言，碳化硅粉

2021年12月24日  现在不是有了碳化硅（SiC）等第三代半导体器件吗？ 但是，虽然SiC器件的特性比硅好了很多，但是应用中仍有许多新的问题要解决。 应用SiC 10年的体会

2023年6月22日  过去，制造商在高温环境下将碳化硅用于轴承、加热机械部件、汽车制动器甚至磨刀工具等设备。 在电子和半导体应用中，SiC 的优势主要包括： 120270 W/mK

2023年4月25日  相比硅基功率器件工艺设备，由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为支撑，如材料制备中的碳化硅单晶生长炉、金刚线多线切割机设备，芯

随着越来越多碳化硅衬底项目开出，包括北方华创、晶升装备、连城数控、恒普科技等设备厂商都从中看到了机会，并陆续推出国产碳化硅长晶炉设备。 北方华创曾在2021年度业绩

碳化硅化学气相沉积外延设备 碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。 我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸

2023年11月23日  碳化硅又称金刚砂或耐火砂，用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。炼得的碳化硅块，经破碎、酸碱洗、磁选和筛分或水选而制成各种

2024年2月18日  就生产流程而言，碳化硅粉末需要 经过长晶形成晶碇，再经过切片、打磨和抛光等一系列步骤方可制成碳化硅衬底；衬底通过外延生长形成外延片；外延片再经过光刻、刻蚀、离子注入、沉积等工序制造成器件。整个流程所涉及的设备多达数十种

2023年5月13日  由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为支撑，如材料制备中的碳化硅单晶生长炉、金刚线多线 切割机 设备，芯片制程中的高温高能离子注

产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽” 集微网报道，2022年以来，受全球消费电子市场整体放缓以及新冠疫情反复的影响，半导体产业在经历了持续良久的高景气后开启了去库存周期。 值得一提的是，虽然半导体产业已经步入下行周期，但仍有部分

2024年2月18日  半导体碳化硅 (SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； 爱在七夕时 东莞南方半导体科技有限公司 品质主管 从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发展,设备需求迎来了机遇期。 一、SiC

2022年5月11日  一张图了解生产碳化硅晶片的灵魂装备——长晶炉 来源：中国粉体网 山川 36723人阅读 标签 长晶炉 碳化硅 晶片 碳化硅微粉 碳化硅晶片 [导读] 一张图了解生产碳化硅晶片的灵魂装备——长晶炉 还有2页，登录查看全文 推荐 5 作者：山川

碳化硅化学气相沉积外延设备 碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。 我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主

2022年3月7日  碳化硅产品的应用方向和生产过程 前言： 相比硅基功率半导体，碳化硅功率半导体在开关频率、损耗、散热、小型化等方面存在优势，随着特斯拉大规模量产碳化硅逆变器之后，更多的企业也开始落地碳化硅产品。 本文主要介绍碳化硅产品的应用方向和生产

2023年8月19日  在国产外延设备方面，北方华创、晶盛机电等企业开始小批量生产碳化硅外延设备，且当下存在发展的良机。一是目前国内外延片的制备受限于设备交付环节（疫情等原因），无法快速放量，主流碳化硅高温外延设备交付周期普遍在152年以上。

2023年10月27日  碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，并在外延层上制造各类器件。碳化硅一般采用PVT方法，温度高达2000多度，且加工周期比较长，产出比较低，因而碳化硅衬底的成本是非常高的。

2011年4月2日  在目前的很多生产中，都需要用到碳化硅雷蒙磨机，这种磨粉设备的工作环境是十分恶劣的，同时关注强度也比较大，这 石英石超细磨粉机设备生产加工工艺 上海世邦机器有限公司 2014年1月14日 因此，客户在选择设备时除了考虑石英石超细磨粉机价格

2024年1月17日  浅析国产碳化硅外延炉设备 受益于碳化硅下游市场需求逐步放大，国内多个碳化硅外延项目发布了扩产和新建开工的计划： 一代工艺一代设备，外延生长在SiC器件制造成本中占比超20%，SiC外延炉是 第三代半导体 SiC器件制造的核心装备之一。 下游市

2023年9月12日  这两种碳化硅晶圆生产方法都需要大量的能源、设备和知识才能成功。碳化硅有什么 用途？碳化硅的优点 从历史上看，制造商在高温环境下使用碳化硅来制造轴承、加热机械部件、汽车制动器，甚至磨刀工具等设备。在电子和半导体应用中，SiC

首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做 2020年10月21日 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有重要

2023年5月8日  中国碳化硅产业链全景图，附30家企业汇总 中国碳化硅产业链全景图 碳化硅材料是制作高频、温抗辐射及大功率器件的优异材料。 和Si、GaAs等第一、二代半导体材料相比，碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）拥有击穿电压高、宽禁带、导热率高、电子饱和速

2022年8月25日  为什么碳化硅要用外延，而不是直接切一片厚的晶圆？ 知乎 2023年1月3日 在国产外延设备方面，北方华创、晶盛机电等企业开始小批量生产碳化硅外延设备，且当下存在发展的良机。 一是目国内外延片的制备受限于设备交付环节（疫

2014年6月3日  高纯碳化硅晶体,进口料,莫氏硬度90~93之间,整个尺寸:长宽高220×210×10mm,寄来用泰州晨虹卧式数控金刚。常年回收二手碳化硅生产设备,二手食品生产设备,二手油漆生产设备,二手山楂烘干设备,二手化工燃料生产设备,染料助剂生产设备高价求购

2023年11月12日  综合来看，国内碳化硅关键设备产业已经逐步发力，大部分设备类型都已有国产替代方案，在碳化硅产业爆发的情况下，未来碳化硅设备市场也将不断增大，预计此轮利好将持续23年，在此期间碳化硅设备需求将持续增长，将为国内设备厂商带来巨大的发展

纯碱。绿碳化硅碳化硅对身体有害吗碳化硅晶体碳化硅化学性质碳化硅半导体。生产碳化硅需要采购什么设备 中。(3000吨立方碳化硅生产环境影响报告表)(终版)2019年9月1日技术管理、设备管理到经济成本核算都要有控制污染的内容和指标,并要

2021年7月21日  碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端设备制造业转型发展的步伐。 今年发布的“‘十四五’规划和

2023年4月26日  缺点在于 HTCVD 法和 PVT 一样需要高温条件，需要用到多种气体，成 本较高，而且生长过程存在多种附带。目前，意法半导体、丰田集团和 电装集团等已实现 HTCVD 规模化生产碳化硅晶体，国内江苏

2010年12月29日  如果预浸布也要自己生产的话，那么首先是要有预浸机，是生产预浸布的机器，再者如果生产碳纤维制品的话，需要相应的模压、涂装、成型、无尘室等设备。 还有就是看你需要生产的是哪方面的制品？ 运动器材？ 自行车？ 还是其他渔具的？ 都是大同

2024年2月29日  晶体生长 SiC晶体生长是SiC衬底生产的核心工艺，核心难点在于提升良率。 目前SiC晶体的生长方法主要有物理气相传输法 (Physical Vapor Transport Method, PVT法)、高温化学气相沉积法 (High Temperature Chemical Vapor Deposition, HTCVD法)、液相法 (Liquid Phase Epitaxy)等。 物理气相

SiC发展神速设备XFab碳化硅 2022年8月25日 这是一个需要用设备部署的大量洁净室空间。一些用于硅生产线的设备也可用于碳化硅生产 线。但大批量的生产需要一些专门的工具。 IDM和代工厂需要什么？ 随着特斯拉的发展，意法半导体很快就实现了高

为什么碳化硅要用外延，而不是直接切一片厚的晶圆？2023年1月3日 @石大小生 写这篇文章的原因是因为看到一个新闻：2023年1月1日，根据晶盛机电官微消息， 晶盛机电将在2023年新春期间举办新品发布会，届时将推出6英寸双片式碳化硅外延设备新品 。

造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？工艺碳化硅中国2023年5月21日 由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为支撑，如材料制备中的碳化硅单晶生长炉、金刚线多线 进一步探索碳化硅（SiC）设备和工艺情况

2022年8月25日  这是一个需要用设备部署的大量洁净室空间。一些用于硅生产线的设备也可用于碳化硅生产 线。但大批量的生产需要一些专门的工具。 IDM和代工厂需要什么？ 随着特斯拉的发展，意法半导体很快就实现了高销量。意法半导体汽车产品集团功率

2020年6月10日  碳化硅是用天然硅石、碳、木屑、工业盐作基本合成原料，在电阻炉中加热反应合成。 其中加入木屑是为了使块状混合物在高温下形成多孔性，便于反应产生的大量气体及挥发物从中排除，避免发生爆炸，因为合成IT碳化硅，将会生产约14t的一氧化碳 (CO

碳化硅部件（CVDSiC） 以自行研发的CVD法生产，实现了超高纯度，高耐热性，高耐磨性的碳化硅产品 碳化硅产品是硅（Si）和碳（C）1比1结合而成的一种化合物，具有较高的抗磨损性、耐热性和耐腐蚀性。 它们被广

2023年12月5日  碳化硅产业链主要由衬底、外延、器件、应用等环节组成。碳化硅晶片作为半导体衬底材料，根据电阻率不同可分为导电型、半绝缘型。导电型衬底可用于生长碳化硅外延片，制成耐高温、耐高压的碳化硅二极管、碳化硅MOSFET等功率器件，应用于新能源汽车、光伏发电、轨道交通、智能电网、航空

2023年10月30日  SiC碳化硅器件是指以碳化硅为原材料制成的器件，按照电阻性能的不同分为导电型碳化硅功率器件和半绝缘型碳化硅基射频器件。导电型碳化硅功率器件主要是通过在导电型衬底上生长碳化硅外延层，得到碳化硅外延片后进一步加工制成，品种包括肖特基二极管、 MOSFET、IGBT等，主要用于电动汽车

2023年10月27日  二、行业现状及市场空间 1、全球碳化硅器件市场格局由海外巨头主导 海外企业由于占据先发优势，在技术进展与产能规模上具备一定垄断地位。根据数据，市场份额由海外巨头意法半导体、Wolfspeed、罗姆、英飞凌、三菱电机、安森美等厂商垄断，其中最大的碳化硅器件商为意法半导体，是特斯拉

2020年6月16日  碳化硅器件的制备方面，个人理解主要有 1 光刻对准，相较于传统硅片，双面抛光的碳化硅晶圆是透明的，光刻对准是一个难点 2 离子注入和退火激活工艺，由于碳化硅材料的特性，制备器件时掺杂只能靠离子注入的方式，而且需要高能粒子注入。

2020年8月21日  碳化硅粉体合成采用高纯碳粉和硅粉直接反应，通过高温合成的方法生成。 碳化硅粉体合成设备主要技术难点在于高温高真空密封与控制、真空室水冷、真空及测量系统、电气控制系统、粉体合成坩埚加热与耦合技术。 当前国外主要厂商包括Cree、Aymont等

纯碱。绿碳化硅碳化硅对身体有害吗碳化硅晶体碳化硅化学性质碳化硅半导体。生产碳化硅需要采购什么设备 中。(3000吨立方碳化硅生产环境影响报告表)(终版)2019年9月1日技术管理、设备管理到经济成本核算都要有控制污染的内容和指标,并要

成立】意法半导体宣布与三安光电成立碳化硅合资 ，意法半导体在官网宣布，将与三安光电在中国成立200mm碳化硅器件制造合资企SiC发展神速设备XFab碳化硅搜狐, 一些用于硅生产线的设备也可用于碳化硅生产线。但大批量的生产需要一些专门的工具。

2015年9月19日  作机械密封的话有：车床、磨床、钻床、抛光机，超声波清洗机、如果密封材料也自已生产的话、还需要碳化硅炉，石墨压机，橡胶硫化机，橡胶压机等 。 还要看具体是生产什么密封产品。 密封产品分很多。 O型圈,油封,缠绕垫片,橡胶垫片,石棉垫片,非石棉